绕过EUV技术佳能着手销售5nm芯片生产设

2023-10-15 18:46:47 编辑：聂庆平来源：

导读光刻机大厂佳能近期宣布已经开始销售基于纳米印刷技术的芯片生产设备，该设备采用不同于复杂光刻技术的方案，可以制造5纳米芯片。这套生产...

光刻机大厂佳能近期宣布已经开始销售基于“纳米印刷”技术的芯片生产设备，该设备采用不同于复杂光刻技术的方案，可以制造5纳米芯片。这套生产设备的工作原理与ASML的光刻机是不一样的，其并不利用光学图像投影的原理，将集成电路的微观结构转移到硅晶圆，则是更类似于印刷技术，直接通过压印形成图案。

与传统的EUV光刻技术相比，这项技术能够大大的降低耗能，并且可以降低设备成本。虽然这项技术的优点很明显，但是现阶段导入量产上仍然有很多问题需要继续解决，包括更容易因为空气当中的细微尘埃影响而形成瑕疵。本次佳能发布的设备可以应用于最小14平方毫米的硅晶圆，从而能够生产出相当于5纳米工艺的芯片。

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