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1、tft—lcd是采用新材料和新工艺的大规模半导体全集成电路制造技术,是液晶(lc)、无机和有机薄膜电致发光(el和oel)平板显示器的基础。
2、tft是在玻璃或塑料基板等非单晶片上(当然也可以在晶片上)通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必需的各种膜,通过对膜的加工制作大规模半导体集成电路(lsic)。
3、采用非单晶基板可以大幅度地降低成本,是传统大规模集成电路向大面积、多功能、低成本方向的延伸。
4、在大面积玻璃或塑料基板上制造控制像元(lc或oled)开关性能的tft比在硅片上制造大规模ic的技术难度更大。
5、对生产环境的要求(净化度为100级),对原材料纯度的要求(电子特气的纯度为99.999985%),对生产设备和生产技术的要求都超过半导体大规模集成,是现代大生产的顶尖技术。
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